1.真空腔室：246*228優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，氬弧焊接；

     2.基片臺(tái)：尺寸100mm，60-120mm高度可調(diào)，可旋轉(zhuǎn)及加熱300度；

     3.真空系統(tǒng)：機(jī)械泵+進(jìn)口分子泵

     4.極限真空：8.0×10^-5Pa；

     5.真空抽速：大氣～8×10^-4Pa ≤ 30min；

     6.真空測(cè)量：全量程復(fù)合真空計(jì)，測(cè)量范圍：10⁵Pa～10^-5Pa；

     7.磁控靶：Φ2英寸2只（含靶擋板），兼容直流電源和射頻電源；

     8.濺射電源：1臺(tái)500W直流濺射電源和1臺(tái)300W全自動(dòng)匹配射頻電源；

     9.質(zhì)量流量計(jì)：進(jìn)口10sccm、50sccm 控制器各一套；

     10.膜厚控制系統(tǒng)：進(jìn)口Inficon SQM-160單水冷探頭，精度0.1?（選配）；

    11.控制方式：PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng)，具備漏氣自檢與提示、通訊故障自檢、保養(yǎng)維護(hù)提示等功能；  

     12.設(shè)備外形：L60cm×W60cm×H96cm機(jī)電一體化機(jī)架，預(yù)留1個(gè)CF35法蘭接口；

  13.設(shè)備供電總功率≤2KW，220V，單相三線制（一火一零一地）；

 14.冷卻循環(huán)系統(tǒng)：水壓0.2～0.4MPa，水溫10～25℃，給設(shè)備相關(guān)需水冷部件提供穩(wěn)定的制冷水；